真空鍍膜機(jī)主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子槍加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

 

常見的幾種故障處理方法：

 

一、檢測(cè)不到掩膜夾具翻轉(zhuǎn)信號(hào)：

 

1、檢查翻面信號(hào)源位置

2、將翻面輸入信號(hào)人工短接，使用翻面檢測(cè)功能，計(jì)算機(jī)能檢測(cè)到信號(hào)時(shí)，證明問題在翻面控制開關(guān)上，根據(jù)情況做相應(yīng)處理。檢測(cè)不到信號(hào)首先檢查線路，然后更換控制卡。

 

二、掩膜夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定:

 

1、檢查翻板的初始位置是否符合時(shí)機(jī)

2、檢測(cè)翻面控制開關(guān)工作是否穩(wěn)定，可用指針萬(wàn)用表跟蹤監(jiān)測(cè)。

3、檢查翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)動(dòng)作是否靈活可靠

4、檢查翻面信號(hào)次數(shù)設(shè)置

5、檢查旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)是否與鐘罩內(nèi)壁有磨擦現(xiàn)象

6、檢測(cè)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性

 

三、在同一掩膜夾具頻率散差大:

 

1. 檢查晶片本身是否散差大

2. 檢查膜層修正板位置是否變動(dòng),重新調(diào)節(jié)修正板

3．檢查一下?lián)醢逶陂_、關(guān)時(shí)是否全遮擋住鉬舟

4．檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟

5．檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟