真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件（金屬、半導(dǎo)體或絕緣體）表面而形成薄膜的一種方法。

 

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子槍加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

 

真空鍍膜機的操作使用：

 

1、檢查設(shè)備各操作控制開關(guān)是否在"關(guān)"位置。

2、打開總電源開關(guān)，真空鍍膜設(shè)備送電。

3、低壓閥拉出。開充氣閥，聽不到氣流聲后，啟動升鐘罩閥，鐘罩升起。

4、安裝固定鎢螺旋加熱子。把PVDF薄膜和鋁蓋板固定在轉(zhuǎn)動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位，保證無任何雜質(zhì)污物。

5、落下鐘罩。

6、啟動真空鍍膜設(shè)備抽真空機械泵。

7、開復(fù)合真空計電源。

（1）左旋鈕“1”順時針旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段的加熱位置。

（2）低真空表“2”內(nèi)指針順時針移動，當指針移動至110mA時，左旋鈕"1"旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。

8、當?shù)驼婵毡?ldquo;2”內(nèi)指針再次順時針移動至6.7Pa時，低壓閥推入。這時左旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。

9、真空鍍膜設(shè)備開通冷卻水，啟動擴散泵，加熱40min。

10、低壓閥拉出。重復(fù)一次⑦動作程序：左下旋鈕“1”轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。低真空表“2”內(nèi)指針順時針移動，當指針移動至6.7Pa時，開高壓閥。